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Shallow trench 식각 공정시 발생하는 격자결함 관찰 및 제거동향 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
Trench 구조를 이용한 단일모드형 고휘도 발광소자의 광출력 증가
Applied Science and Convergence Technology
2007 .09
수소 열처리를 이용한 고신뢰성 트렌치 게이트 MOSFET
Applied Science and Convergence Technology
2002 .12
실리콘 식각 및 열처리에 따른 오염과 격자결함 변화에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
유도결합 Cl₂ 및 HBr / Cl₂ 플라즈마를 이용한 STI용 실리콘 Shallow trench 식각공정에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1997 .08
다결정 실리콘의 선택적 성장을 이용한 깊은 트랜치 격리기술
Applied Science and Convergence Technology
2002 .12
Plasma anisotropic deposition of copper in trenches of nm scale
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
X - ray scattering study of copper - filling profile in submicron trenches
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
Trench 형성 및 High-k 물질의 적층을 통한 고출력 특성 EIS pH센서 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
극 저 에너지 이온 주입시 국부 격자결함 축적이 불순물의 분포에 미치는 효과에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
First - principle에 의한 격자 변형된 SrTiO₃와 BaTiO₃격자의 유전특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
Trench 구조를 이용한 단일모드형 고휘도 발광소자의 광출력 증가에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
TECTONIC FEATURES AROUND THE CORNER OF THE NEW BRITAIN TRENCH: EVIDENCE FOR CONTINUING EXTENSION
한국석유지질학회 학술발표회
2000 .01
이동최소자승법을 이용한 중첩격자기법의 개선
한국산업응용수학회 학술대회 논문집
2007 .05
클래식 패션으로서의 트렌치 코트(trench coat)에 관한 연구
복식
2007 .11
Analysis on self heating effect on trench structure in 5 nm node 3D stacked nanowire FET
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
ICP(Inductively Coupled Plasma)를 이용한 Shallow Trench식각 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
Study of SiC trench MOSFET edge termination structure with Bottom Protection Well for high breakdown voltage
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Mechanism Study of Flowable Oxide Process for Sur-100nm Shallow Trench Isolation
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
체크리스트법에 의한 트렌치코트 디자인 분석
복식
2012 .11
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