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화학적 기계 연마(CMP)에 의한 단결정 실리콘 층의 평탄 경면화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
용액 공정을 이용한 High-k 게이트 절연막을 갖는 고성능 InGaZnO Thin Film Transistors의 전기적 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
플렉서블 디스플레이에의 적용을 위한 저온 게이트 절연막에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
알루미늄 도관의 내표면 화학연마
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
저에너지 Fluorine-based 중성빔 incorporation 공정을 이용한 Al₂O₃ gate 절연막 특성향상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
고밀도 플라즈마를 이용한 STI 공정에 적용되는 SiO₂ 절연막의 균일성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
HfO₂와 AlO₃를 이용한 터널링 절연막의 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
용액 공정 기반 ZrO2 절연막을 사용한 IGZO 박막 트랜지스터의 전기적 특성 향상 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
반도체소자의 절연막응용을 위한 폴리이미드 박막의 제작과 특성
Applied Science and Convergence Technology
1999 .08
SiO₂/SiNx 터널 절연막의 적층에 따른 비휘발성 메모리 소자 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
게이트 절연막 SiNx와 SiO2에 따른 솔루션 기반 ITZO TFTs의 전기적 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
온도에 따른 SiO2, SiNX 게이트 절연막 ITZO 산화물 반도체 트랜지스터 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
고온 다결성 실리콘 박막 트랜지스터에서 게이트 절연막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
Tunnel barrier engineered 메모리 적용을 위한 터널링 절연막의 전기적 특성 및 계면 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
반도체 검출기의 절연 최적화를 위한 다층 절연막 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
바이어스-온도 스트레스를 이용한 SiNx/SiO₂ 절연막의 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
InSb 적외선 감지 소자용 Si₃N₄, SiO₂ 절연막 계면 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
PECVD로 증착한 InSb 적외선 감지소자용 Si₃N₄ 절연막에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
유체연마 공정에 따른 표면 변화 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
금속 기판 위에 증착한 ZrO₂(50)TiO₂(50) 박막의 절연 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
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