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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제19회 학술발표회논문개요집
발행연도
2000.7
수록면
89 - 89 (1page)

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2001

화학적 기계 연마(CMP)에 의한 단결정 실리콘 층의 평탄 경면화에 관한 연구
이재춘 ,  홍진균 ,  유학도 Applied Science and Convergence Technology 2001.10 학술저널

2000

화학적 기계 연마(CMP)에 의한 단결정 실리콘 층의 평탄 경면화에 관한 연구
이재춘 ,  홍진균 ,  유학도 한국진공학회 학술발표회초록집 2000.07 학술대회자료

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