Properties of Si thin films by hyperthermal neutral beam

Kyoung Suk Oh ,  Sung Woong Choi ,  Daechul Kim 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Hyperthermal Cs+ - Surface Reactive Scattering for Real - time Measurement of Molecular Adsorption. Reaction of CO, H₂O, and C6H6 with Ni(100)

강헌 ,  김관도 ,  김기여 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Chemical State Identification Using Ion Scattering. Low energy Cs+ scattering from H₂O / Si(111) surface

M. C. Yang ,  C. H. Hwang ,  H. Kang

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

High Energy Ion Scattering을 이용한 표면분석

황정남

Applied Science and Convergence Technology

1993 .12

Low - Temperature Si(001) Layer Grown Using Low - Energy Hyperthermal Si Atoms in UHV Ion - Beam Sputter Deposition : Epitaxial Thickness and Hydrogen Concentration

이내응

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Atomic structure of the Si(113) surface studied by coaxial impact collision ion scattering spectroscopy

J. U. Choi ,  K. S. Kim ,  K. H. Chae 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Experimental Studies And Modeling Towards the Understanding of The Growth of DLC Films Hyperthermal Species

Y. Lifshitz

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Impact Collision Ion Scattering Spectroscopy system 제작 및 그 특성

김기석 ,  최기보 ,  황정남 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

Surface and Interface Analysis with Medium Energy Ion Scattering Spectroscopy

Dae Wom Moon

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Microwave Electric Field and Magnetic Field Simulations of an ECR Plasma Source for Hyperthermal Neutral Beam Generation

이희재 ,  김성봉 ,  유석재 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

표면 분석용 Coaxial Impact Collision Ion Scattering Spectroscopy (CAICISS) 장치의 제작과 특성

김기석 ,  김용욱 ,  박노길 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

1994 .03

Low Temperature Silicon Oxynitridation Grown by Hyperthermal Neutral Beam

J. S. Kim ,  D. C. Kim ,  J. H. He 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Sputtering of Clean and K - Covered Ni Surfaces by Low Energy (< 500 eV) Noble Gas Ions

김철훈 ,  강헌

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

Cs+ Reactive Ion Scattering from Pt(111) surface : Experiment and Theory

Jung-Hwan Kim ,  Rob. J. W. E. Lahaye ,  Heon Kang

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Sputtering Processes Studied by Medium Energy Ion Scattering Spectroscopy

Dae Won Moon ,  Hyun Kyung Kim ,  Jae Chul Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Atomic Structure Analysis of BaO Layers on the Si(100) Surface by Impact-Collision ion Scattering Spectroscopy

Hwang ,  Yeon

한국결정학회지

2006 .01

Damage Profiling of Ar+ - Sputtered Si(100) by Medium Energy Ion Scattering(MEIS)

이재철 ,  정칠성 ,  강희재 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Silicon oxy-nitridation using the hyperthermal neutral beam (HNB)

김종식 ,  김대철 ,  손혁준 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Coaxial Impact Collision Ion Scattering Spectroscopy CAICISS) 장비를 이용한 ultra - thin Au / Si(001) 계의 구조 분석

김용욱 ,  김기석 ,  박노길 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Surface x- ray scattering study of a thallium - induced Si(111) - 1×1 surface

김남동 ,  황춘규 ,  정진욱 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08