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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 1994.3
- 수록면
- 8 - 16 (9page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (3)
1994
표면 분석용 Coaxial Impact Collision Ion Scattering Spectroscopy (CAICISS) 장치의 제작과 특성
김기석
,
김용욱
,
박노길
외 5명
Applied Science and Convergence Technology
1994.03
학술저널
CAICISS(Coaxial Impact Collisison Ion Scattering Spectroscopy) 장비를 이용한 Au / Si(001) 의 원자구조 분석
김기석
,
김용욱
,
박노길
외 3명
한국진공학회 학술발표회초록집
1994.02
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표면 분석용 CAICISS 장치를 제작하고, He^+과 Li^+이온을 사용하여 장치의 특성을 조사하였다. 장치 분해능의 평가기준으로 이용할 수 있는 △T를 정의하고 Li^+ 이온을 사용했을 경우와 비교한 결과, He^+ 이온의 경우 △T/T=0.034, Li^+ 이온의 경우 △T/T=0.04로서, Li^+ 이온의 경우가 분해능이 약간 떨어짐을 알았다. 그리고 Ta, Al 표적시료에 대한 실험결과를 보정함수를 이용하여 계산값과 비교한 결과 잘 일치함을 확인하였고, 보정함수는 입사이온의 에너지와 표적원자의 질량에는 무관하고, 실험조건에만 의존함을 알았다. 또한 Si(100) 표면에 He^+ 이온을 입사하여 입사각에 따른 산란강도 분포 스펙트럼으로부터 CAICISS 장치로 표면 1~4 원자층의 Si 원자에 대한 기하학적인 배열을 확인하였다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. CAICISS 장치의 제작
3. 제작된 CAICISS 장치의 특성
4. 결론
감사의 글
참고문헌
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