메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
저널정보
Korean Institute of Information Scientists and Engineers 한국정보과학회 학술발표논문집 한국정보과학회 2001년도 가을 학술발표논문집 제28권 제2호(Ⅱ)
발행연도
2001.10
수록면
334 - 336 (3page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
반도체 제조와 같은 대량 생산 시스템에서 제품 검사는 매우 중요한 단계 중의 하나이다. 반도체 제조 공정 내에서의 시각 검사는 현재 사람의 육안에 주로 의존하고 있으나, 회로가 점점 복잡해지고 ... 전체 초록 보기

목차

요약

1. 서론

2. 반도체 제조공정에서의 시각검사

3. 웨이퍼 자동시각검사 시스템

4. 결론 및 향후 과제

참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

본딩 웨이퍼 검사를 위한 모델링 연구
임영환 ,  양시은 ,  장동영 외 2명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2008 .05
인공지능이 가져올 4차 산업혁명 물결
고인석 Electric Power 2016 .09
반동체 웨이퍼 고속 검사를 위한 GPU 기반 병열처리 알고리즘
박영대 ,  김준식 ,  주효남 제어로봇시스템학회 논문지 2013 .12
eFuse Pin 을 고려한 Wafer 전기적 특성검사의 개선에 관한 연구
하치환 ,  장연봉 ,  이종학 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2013 .05
2단 진공 웨이퍼 정렬장치 및 다층 구조 설계
김형태 ,  최문수 드라이브·컨트롤 2011 .09

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-569-017837271