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논문 기본 정보

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저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제29권 제5호
발행연도
2005.5
수록면
726 - 733 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

On-Machine 구면기준 Shack-Hartmann 장치를 이용한 대형 반사경의 가공 정밀도 연구
홍정희 ,  오창진 ,  이응석 외 1명 대한기계학회 논문집 A권 2005.05 학술저널

2003

구면기준 Shack-Hartmann Test 장치를 이용한 대형 반사경 정밀 가공 연구
홍정희 ,  오창진 ,  이응석 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2003.11 학술대회자료

초록· 키워드

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A spherical surface referenced Shack-Hartmann method is studied for inspecting machining accuracy of large concave mirror. This method is so strong to the vibration environment for using as an on-machine inspection system during polishing process of large optics comparing with the interferometry. The measuring uncertainty of the system is shown as less than p-v 150 nm. On-machine measured surface profile data with this method is used for feed back control of the polishing time or depth to improve the surface profile accuracy of large concave mirror. Also, the spherical surface referenced Shack-Hartmann method is useful for measuring aspheric such as parabolic or hyperbolic surface profile, comparing that the interferometry needs a special null lens, which is to be a reference and difficult to fabricate.

목차

Abstract

1. 서론

2. 구면 기준 Shack-Hartmann 장치 구성

3. 정밀도 검증

4. 대구경 렌즈 가공 및 측정

5. 결론

후기

참고문헌

참고문헌 (6)

참고문헌 신청
Daniel Malacara, 1992, Optical Shop Testing-Second Edition, Wiely Interscience. google schola Rajiv Bhatia, Adriana Cinani and Piero Rafanelli, 1994, "Results from the Shack-Hartmann Analysis of the 3.5m Primary Mirror of the Galileo telescope," SPIE, pp. 68~78. google schola Johannes Pfund, Norbert Lindlein and Johannes Schwider, 1998, "Misalignment Effects of the Shack-Hartmann Sensor," APPllED OPTICS/Vol. 37, pp. 22~27. google schola Takeuchi, N., Mitsuhashi, T., Itoh, M. and Yatagai, T., 1998, "Wavefront Distortion Measurement of a SR Extraction Mirror for the Beam Profile Monitor using Shack-Hartmann Method," IEEE, pp 859~861. google schola Walker, D.D., Freeman, R., McCavana, G., Morton, R., Riley, D., Simms, J., Brooks, D. and King, A., 2001, Proc. Large Lenses and Mirrors Conference, UCL, pub. SPIE, pp. 106~111. google schola

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