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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2004년 추계학술대회논문집
발행연도
2004.11
수록면
777 - 781 (5page)

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This paper presents a force/displacement sensing system to measure penetration depths and machining forces during pattering operation. This sensing system consists of a leaf spring mechanism and a capacitive sensor, which is mounted on a PZT driven in-feed motion stage with 1㎚ resolution. The sample is moved by a xy scanning motion stage with 5㎚ resolution. The constructed system was applied to nano indentation experiments, and the load-displacement curves of silicon(111) and aluminum were obtained. Then, the indentation samples were measured by AFM. Experimental results demonstrated that the developed system has the ability of preforming force/depth sensing indentations

목차

Abstract

1. 서론

2. 시스템의 구성 및 원리

3. 실험 및 결과

4. 결론

참고문헌

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