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저자정보
김동언 (서울대학교) 임성한 (서울대학교) 오수익 (서울대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년도 생산 및 설계공학 부문 추계학술대회 논문집
발행연도
2003.11
수록면
78 - 85 (8page)

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Molecular dynamics simulations of nano indentation on single crystal silicon (100) surface were performed on parallel computer. Silicon substrate and diamond indenter tool tip were modeled by Tersoff potential model. Phase transformation, incipient plastic deformation and the change of incident temperature distribution of silicon substrate were investigated through the change of potential energy, load-displacement curve, the change of kinetic energy distribution and displacement of silicon atoms. Phase transformation and distribution of atoms which have high kinetic energy are highly localized near tool tip. Incipient plastic deformation was found at indentation depth between 7 and 8 Angstrom from the data of load-displacement curve, displacement of silicon atoms and unloading simulation.

목차

Abstract
1. 서론
2. 해석 방법
3. 해석 결과 및 고찰
4. 결론
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2010-550-003156532