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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2006년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2006.6
수록면
29 - 34 (6page)

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Although the nanohardness has been a typical property of thin films, this cannot be converted to or compared with other mechanical properties such as yield and tensile strengths. In this study, we proposed a novel strength-measurement technique by combining a depth-sensing indentation curve and its resulting indent morphology. From a three-dimensional morphology investigation of the remnant indent using an atomic force microscope, a dimension of indentation-induced yielded zone was characterized as an in-plane closed loop. By adopting the force equilibrium between the applied indentation load and its supporting force beneath the yielded zone, the yield strengths of 1.0 ㎛-thick Au and TiN thin films were measured. However, the measured strength of Au film was about 1.5 times higher than the result from microtensile test. This phenomenon was attributed to the effects of hard Si substrate and can be modified by proposing new yielded zone morphology.
#Depth-sensing indentation(깊이제어압입) #Indent morphology analysis(압흔형상분석) #Yield strength(항복강도) #Force equilibrium(힘평형)

목차

Abstract
1. 서론
2. 잔류압흔 분석의 이론적 배경
3. 실험방법
4. 시험결과 및 토론
5. 결론
후기
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