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Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제22권 제12호
발행연도
2005.12
수록면
42 - 50 (9page)

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This paper presents an ultra precision machining system using a high sensitive force sensing module to measure machining forces and penetration displacement in a tip-based nanopatterning. The force sensing module utilizes a leaf spring mechanism and a capacitive displacement sensor and it has been designed to provide a measuring range from 80 μN to 8 N. This force sensing module is mounted on a PZT driven in-feed motion stage with 1 ㎚ resolution. The sample can be moved by X-Y scanning motion stage with 5 ㎚ resolution. In nano indentation experiments and patterning experiments, the machining forces were controlled and monitored by the force sensing module. Then, the patterned samples were measured by AFM. Experimental results demonstrated that the developed system can be used as an effective device in nano indentation and nanopatterning operation.
#Ultra precision machining(초정밀 가공) #Nanoindentation(나노인덴테이션) #Nanopatterning(나노패터닝) #Measurement(측정)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 초정밀 가공시스템
3. 초정밀 가공시스템의 설계 및 제작
4. 초정밀 가공시스템의 구축 및 실험
5. 결론
참고문헌

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