플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

반도체 식각 공정용 공간 평균 시뮬레이터 및 데이터베이스 개발

권득철 ,  이세아 ,  장원석 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .05

반도체 공정 시뮬레이션을 위한 초고속 병렬 연산 알고리즘 ( Massive Parallel Processing Algorithm for Semiconductor Process Simulation )

이제희 ,  반용찬 ,  원태영

전자공학회논문지-D

1999 .03

반도체 식각 공정모니터링 시스템 개발

박정우 ,  이효익 ,  이홍렬 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

2012 .11

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

건식 식각기술의 동향분석

박성호 ,  김진섭 ,  강봉구

[ETRI] 전자통신동향분석

1989 .06

The Design and Implementation of a Parallel Processing Operating System for Massively Parallel Processing Computer

Hae Jin Kim ,  Kee Wook Rim

ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications

1996 .01

병렬 비트 연산에 의한 고속 고장 시뮬레이터 ( High-Speed Fault Simulator Based on Parallel Operation )

강민섭

대한전자공학회 학술대회

1992 .07

[기술해설]고도 병렬 계산(Massively Parallel Computation)

정창성

정보과학회지

1994 .02

병렬 비트 연산에 의한 고속 고장 시뮬레이터

강민섭

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

반도체 식각 장비 개발의 경쟁력

김남헌

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

병렬처리 시뮬레이터 PPS의 설계 및 구현

이진호

(구)정보과학회논문지

1993 .07

디스플레이 공정용 건식 식각 장비의 시뮬레이션 기술

최희환

인포메이션 디스플레이

2015 .01

반도체 제조공정의 효율적 생산관리를 위한 시뮬레이터 개발

이영해 ,  정황근

산업공학 (IE interfaces)

1995 .11

유도탄 성능분석을 위한 실시간 병렬처리 시뮬레이터 연구

정순기 ,  김병문

제어로봇시스템학회 논문지

2005 .01

반도체 식각 시뮬레이션에 최적화된 플럭스 연산 환경

정승한 ,  권오봉

한국정보과학회 학술발표논문집

2013 .11

인공 신경망을 이용한 반도체 식각 공정 제어에 관한 연구

최문규 ,  김훈모 ,  윤건상

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .11

대규모 병렬 시스템에서 유한 차분법 성능에 관한 연구

김현규 ,  이효종

한국정보과학회 학술발표논문집

2012 .11

반도체 식각 공정에 필요한 플럭스 분포 조건 연구

정승한 ,  권오봉

대한전자공학회 학술대회

2014 .06