고정 마스크에 의한 레이저 미세패터닝 쾌속 제작기술 연구

신보성 ,  오재용

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2005 .01

대류 현상을 이용한 고분자 박막 패터닝

김채빈

고분자 과학과 기술

2020 .08

유도결합형 플라즈마를 이용한 백금 박막 식각 특성에 관한 연구

김현수 ,  장제욱 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

LPCVD-Si₃N₄ 박막의 열 산화

고재석 ,  구경완 ,  조동율 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

정전기력 분무 공정 기반 마스크 패터닝 시스템 기술 개발

최경현 ,  당현우 ,  김형찬 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .11

백금 박막의 방향성 및 미세구조에 미치는 산소의 영향

최영철 ,  이병수

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

레이저를 이용한 회로 패터닝

박민수 ,  원시태 ,  김한글 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

전해에칭 마스크로 활용하기 위한 도금층의 펄스 레이저 패터닝

신홍식 ,  김성진 ,  이지승

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

유기박막 트랜지스터 전극 생산을 위한 새로운 패터닝 기법의 연구

장윤석 ,  강정식

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2013 .10

고밀도 플라즈마 내에서의 plasma species의 변화

김상권 ,  김성완 ,  O. Takai

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

ECR 플라즈마 방법에 SiO₂ 박막 제조에 관한 연구

이현 ,  강문상 ,  구용서 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

ECR 플라즈마 방법에 의한 SiO2 박막 제조에 관한 연구 ( A Study on the Fabrication of SiO2 Films by ECR Plasma Method )

이현 ,  강문상 ,  구용서 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

산화규소 스페이서에 대한 티타늄과 코발트박막의 안정성

이기영 ,  정성희 ,  송오성

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

대기압 플라즈마를 이용하여 증착된 SiO₂ 무기 박막의 특성

길엘리 ,  박재범 ,  오종식 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .05

Mask Patterning Challenges Beyond 150nm

Ma ,  k Gesley

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Pt 나노분말이 분산된 SiO2 박막의 구조 및 전기적 특성 제어

이재호 ,  신인주 ,  이성우 외 2명

한국분말야금학회지

2014 .01

잉크젯 인쇄 공정을 이용한 낮은 표면 에너지 박막 패터닝

조영인 ,  유준호 ,  신권용 외 4명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

STRUCTURE AND MAGNETIC PROPERTIES OF ($Co_{1-x}Fe_{x}$)Pt THIN FILMS

Pa ,  k ,  C.H. 외 6명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

습식식각을 이용한 나노박막 패터닝 기술

이민영 ,  이승훈 ,  김관오 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

유체 플라즈마 공정으로 합성한 백금 나노입자의 전기화학적 특성 평가

이유진 ,  진상훈 ,  김성철 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .05