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RP-CVD에 의한 비정질 실리콘 박막의 특성 ( Characterization of a-Si : H films deposited by a remote plasma CVD )
대한전자공학회 학술대회
1989 .11
RP-CVD로 제작된 실리콘 산화막의 특성 ( Characterization of SiO2 Films Deposited By RP-CVD )
대한전자공학회 학술대회
1991 .01
RP-Cvd로 제작한 도핑된 미세결정질 실리콘 박막의 특성 ( Characterization of Doped Microcrystalline Si Films Prepared by RP-CVD )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
RP-CVD로 제작한 MIS 구조에서의 비정질 실리콘나이트라이드의 특성 ( Characterization of Amorphous Silicon Nitride Films in MIS Structures Prepared By RP-CVD )
대한전자공학회 학술대회
1991 .01
새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )
대한전자공학회 학술대회
1989 .07
Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성
대한전자공학회 학술대회
1993 .07
Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .07
RP-CVD로 제작한 도핑된 미세결정질 실리콘 박막의 특성
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
Remote Plasma Enhanced CVD에 의한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 제작 및 특성 연구 ( Fabrication and Characterization of a-Si : H Films by a Remote Plasma Enhanced CVD )
대한전자공학회 학술대회
1987 .07
RP SYSTEM의 활용
한국CDE학회 학술발표회 논문집
2006 .02
Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성 ( Amorphous Silicom Film Formation by Laser CVD )
대한전자공학회 학술대회
1993 .07
3실 광 CVD법에 의한 고효율의 비정질 실리콘 태양전지 제작
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
RP Report
한국CDE학회지
2005 .08
플라즈마 CVD에 의한 고전압 비정질 실리콘 박막 트랜지스터의 제작
전기학회논문지
1994 .02
RP를 이용한 쾌속조형물 제작공정의 정확성 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .11
3실 분리형 광 CVD장치에 의하여 제작된 무첨가 비정질 실리콘 박막의 기판온도 의존성 ( Dependence of characteristics of undoped a-Si : H film prepared by 3 separated reaction chamber photo-CVD apparatus on substrate temperature )
대한전자공학회 학술대회
1994 .11
FA-CVD에 의한 미세결정질 실리콘 박막 제작 및 특성 ( Characterization and Fabrication of Microcrystalline Si Thin Films Prepared by FA-CVD )
전자공학회논문지
1990 .09
비정질 실리콘 박막트랜지스터 캐패시턴스 특성의 수학적 모델분석
전기학회논문지
1993 .06
Remote Plasma Enhanced CVD에 의한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 제작 및 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1987 .07
ECR CVD를 이용한 비정질 실리콘 박막의 증착 조건과 광학적 특성
대한전자공학회 학술대회
1996 .11
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