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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 시료 제작및 실험방법
3. 실험 결과
4. 결론
참고문헌
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RP-Cvd로 제작한 도핑된 미세결정질 실리콘 박막의 특성 ( Characterization of Doped Microcrystalline Si Films Prepared by RP-CVD )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
FA-CVD에 의한 미세결정질 실리콘 박막 제작 및 특성 ( Characterization and Fabrication of Microcrystalline Si Thin Films Prepared by FA-CVD )
전자공학회논문지
1990 .09
RP-CVD에 의한 비정질 실리콘 박막의 특성 ( Characterization of a-Si : H films deposited by a remote plasma CVD )
대한전자공학회 학술대회
1989 .11
RP-CVD로 제작된 실리콘 산화막의 특성 ( Characterization of SiO2 Films Deposited By RP-CVD )
대한전자공학회 학술대회
1991 .01
RP-CVD로 제작된 고전계 효과 이동도 비정질 실리콘 박막 트랜지스터 ( High Mobility a-Si:H Thin Film Transistor Prepared by RP-CVD )
전자공학회논문지-A
1992 .06
이온 도핑 방법에 의한 실리콘 박막의 도핑 연구 ( A Study on Ion Shower Doping in Si Thin Film )
전자공학회논문지-A
1994 .05
비정질/마이크로결정질 실리콘 박막 태양전지의 제작 및 특성평가
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )
대한전자공학회 학술대회
1989 .07
i/p 계면 특성에 따른 nip 플렉서블 미세결정질 실리콘 박막 태양전지의 특성 연구
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2011 .05
안정성이 우수한 비정질 실리콘과 n형 미세 결정질 실리콘의 제작
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
열선 CVD법에 의한 수소화된 미세결정 실리콘 박막 증착
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
실리콘 박막 광 흡수층 결정분율변화에 따른 미세 결정질 태양전지 특성분석
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2010 .06
RP-CVD로 제작한 MIS 구조에서의 비정질 실리콘나이트라이드의 특성 ( Characterization of Amorphous Silicon Nitride Films in MIS Structures Prepared By RP-CVD )
대한전자공학회 학술대회
1991 .01
Light trapping 개선을 통한 n-i-p 플렉서블 미세결정질 실리콘 박막 태양전지의 효율 향상
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2010 .11
CVD 이용한 Doping 특성 평가
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2010 .11
Remote Plasma Enhanced CVD에 의한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 제작 및 특성 연구 ( Fabrication and Characterization of a-Si : H Films by a Remote Plasma Enhanced CVD )
대한전자공학회 학술대회
1987 .07
결정질 실리콘 태양전지의 다양한 에미터층에 따른 p-n접합 특성에 관한 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2017 .04
태양전지용 미세결정 실리콘 박막의 저온 증착
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
Hot Wire CVD법에 의한 미세결정 실리콘 박막의 저온 증착
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
Electrical Properties of Boron and Phosphorus Doped μc-Si:H Films using Inductively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition Method for Solar Cell Applications
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2008 .01
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