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대한전기학회 전기학회논문지 電氣學會論文誌 第43卷 第2號
발행연도
1994.2
수록면
312 - 317 (6page)

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목차

Abstract
1. 서론
2. 방전 플리즈마 CVD(GDPECVD)
3. 소자의 제작과 측정방법
4. 실험결과 및 분석
5. 결론
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