직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구

주병권 ,  방준호 ,  이윤희 외 2명

한국재료학회지

1994 .01

SFB 공정시 계면 산화막의 성장에 의한 Micro-Gap의 메움 효과 ( Filling-up Effect of Micro-Gap by Interfacial Oxide Growing in SFB Process )

주병권 ,  이재옥 ,  이명복 외 4명

전자공학회논문지-A

1991 .08

Si(100)의 얇은 산화막을 통한 Co$Si_{2}$형성에 관한 연구

신영철 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상현

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si$_3$N$_4$∥Si (100) 기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상연

한국재료학회지

2001 .01

전기로를 이용한 $Si∥SiO_2/Si_3N_4∥Si$기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

TOP ELECTRODE ANNEALING EFFECTS IN SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$/CeO$_2$/Si STRUCTURE

Shin ,  Dong-Suk ,  Lee 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

$SiO_2$ 위에 LP-CVD로 증착한 비정질 $Si/Si_{0.69}Ge_{0.31}, Si_{0.69}Ge_{0.31}Si$ 및 Si의 결정화 거동

김태훈 ,  류명관 ,  김진원 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

a-Si TFT용, Si $O_{x}$의 저온성장에 관한 연구

정일채 ,  백청아 ,  이주현 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

SiO₂-Si 구조의 계면 준위 측정에 미치는 빛의 영향

민병훈 ,  이정한

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

Ti-(45~52%)Al-2%W-(0~0.5%)Si합금의 고온산화

이동복 ,  우성욱

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

Cu배선을 위한 Ta-Si-N Barrier에 관한 연구

신영훈 ,  김종철 ,  이종무

한국재료학회지

1997 .01

전기로를 이용한 Si || SiO/SiN || Si 이종기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회지

2002 .01

미세 Si 입자를 고려한 Al-1%Si 본딩 와이어의 신선공정해석

고대철 ,  황원호 ,  이상곤 외 1명

소성·가공

2006 .09

Performance Analysis of Si-Based Thin Film Solar Cells

Jeong Chul Lee ,  Snag Won Jun ,  Jae Ho Yun 외 3명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2004 .10

미세 Si 입자의 영향을 고려한 Al-1%Si 본딩 와이어의 신선공정해석

황원호 ,  문형준 ,  고대철 외 1명

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2005 .05

기계적 합금화법에 의해 제조된 Fe_0.98Mn_0.02Si₂의 상변태와 산화특성

심웅식 ,  이동복 ,  어순철

한국표면공학회지

2003 .04

Si기판 직접접합기술을 이용한 박막 SOI구조의 형성과 고감도 Si 홀 소자에의 응용 ( Formation of Thin Film SOI Structures and Its Application to a High-Sensitivity Si Hall Device Using Si-wafer Direct Bonding Technology )

정귀상

대한전자공학회 학술대회

1994 .01