반도체 산업 기술 및 포토레지스트의 기술 동향

김상태 ,  양돈식 ,  박한우 외 1명

고분자 과학과 기술

2005 .02

T-형 패턴형성을 위한 포토레지스트 특성

박병선 ,  유형준 ,  이대엽 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Photoresist Technology

김진백

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

포토레지스트의 동향과 전망

김성주 ,  박주현

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .10

산소 플라즈마의 특성과 포토레지스트 제거에의 응용 ( Characteristics of the Oxygen Plasma and Its Application to Photoresist Stripping )

황기웅 ,  이종덕 ,  김정호

전자공학회논문지

1987 .01

A Novel 193 nm Photoresist Containing Silicon Compound

손민석 ,  강영종 ,  김응렬 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2001 .04

폴리실리콘을 이용한 전계 방출 소자에 관한 연구

윤석신 ,  권상직 ,  신영화 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

I 선용 포토레지스트 재료의 개발 ( I-Line positive Photoresist Using Phosphazene-Based PACs )

김성주 ,  김지홍 ,  박주현 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1995 .07

고분자 주쇄에 광분해성 구조를 갖는 폴리이미드의 합성 및 포토레지스트 특성

오세용 ,  이지영 ,  조성열 외 1명

폴리머

1999 .07

The Passivation Properties with Various Annealing Condition of P-doped Poly-Silicon/Silicon Oxide/Crystalline Silicon Structure

Sungjin Choi ,  Kwan Hong Min ,  Myeong Sang Jeong 외 6명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .04

폴리실리콘 소재의 마이크로 인장 특성 측정에 관한 실험적 연구

이진표 ,  이혜진 ,  이낙규 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .06

Black matrix용 포토레지스트의 제조에 관한 연구

이동근 ,  배진영

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2010 .10

실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰 ( An Experimental Study on the Oxidation Process of Silicon )

최연익 ,  김충기

전자공학회지

1979 .03

환경친화적인 초임계 이산화 탄소 공정을 이용한 포토레지스트의 합성

허완수 ,  이상원 ,  박혜진 외 3명

폴리머

2004 .11

P⁺ 실리콘 박막을 이용한 폴리실리콘 압저항 가속도계의 제작 및 측정

양의혁 ,  정옥찬 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

폴리머의 O₂ 플라즈마 에칭을 위한 포토레지스트의 실릴화 특성 연구

이길현 ,  강동수 ,  김진봉 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .04

무기질 a-Se₇₅Ge₂₅ 을 이용한 포토레지스트의 특성

정홍배 ,  허훈 ,  김태완 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .11

폴리실리콘 ( Poly-Silicon ) 박막에서의 고전류 펄스에 의한 Filamentation 현상

김오현 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1983 .01

새로운 감광성고분자의 개발 - 아미노기의 생성과 포토레지스트의 이용 -

송경헌

폴리머

1993 .11