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공용매로 변형된 초임계 이산화탄소를 이용한 이온 주입 포토레지스트 세정
화학공학
2005 .01
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Synthesis of environmental-beneign photoresist for supercritical CO₂ process
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2002 .10
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Photoresist Technology
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
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T-형 패턴형성을 위한 포토레지스트 특성
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
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기계연구원에서의 초임계 CO₂ 발전시스템 관련 연구현황
한국유체기계학회 학술대회 논문집
2017 .07
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기계연구원에서의 초임계 CO₂ 발전시스템 관련 연구현황
한국유체기계학회 학술대회 논문집
2016 .11
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초임계 이산화탄소 발전 기술 연구 동향
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2016 .11
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초임계 이산화탄소의 단일 제트 입구 임계압력변화에 따른 충돌면에서의 열전달 특성 변화
한국유체기계학회 학술대회 논문집
2018 .11
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반도체 산업 기술 및 포토레지스트의 기술 동향
고분자 과학과 기술
2005 .02
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초임계 이산화탄소를 이용한 고농도이온주입 포토레지스트의 효율적인 제거
청정기술
2011 .12
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소규모 초임계 이산화탄소 시험 설비 설계
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
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Photoresists for Interface and Thin Layer Imaging Processes
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2011 .04
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기계연구원에서의 초임계 CO₂ 발전시스템 관련 연구현황
한국유체기계학회 학술대회 논문집
2018 .07
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기계연구원에서의 초임계 CO₂ 발전시스템 관련 연구현황
한국유체기계학회 학술대회 논문집
2018 .11
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기계연구원에서의 초임계 CO₂ 발전시스템 관련 연구현황
한국유체기계학회 학술대회 논문집
2017 .12
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세계 초임계 이산화탄소 발전시스템 기술 개발 현황 및 전략 분석 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .05
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정보기능용 고분자 ( Photoresist )
고분자 과학과 기술
1990 .11
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한국에너지기술연구원 축류형 초임계 이산화탄소 터빈 개발현황
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
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Current R&D Status of the Supercritical Carbon Dioxide Power Cycle System
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2016 .03
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초임계 이산화탄소 발전시스템 기술 개발 전략 연구
한국에너지기후변화학회 학술대회
2018 .05
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