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고밀도 산소 플라즈마를 이용한 감광제 제거공정에 관한 연구 ( A Study on Photoresist Stripping Using High Density Oxygen Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
고밀도 산소 플라즈마를 이용한 감광제 제거공정에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
T-형 패턴형성을 위한 포토레지스트 특성
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
폴리머의 O₂ 플라즈마 에칭을 위한 포토레지스트의 실릴화 특성 연구
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2002 .04
직류 열 플라즈마의 발생 및 그 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1989 .11
반도체 산업 기술 및 포토레지스트의 기술 동향
고분자 과학과 기술
2005 .02
직류 열 플라즈마의 발생 및 그 특성에 관한 연구
전기학회논문지
1990 .11
평판 디스플레이 세정을 위한 상압 플라즈마 에싱효과에 관한 연구
한국산학기술학회 학술대회논문집
2008 .05
자화된 플라즈마의 특성 및 식각에의 응용
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .11
상압플라즈마의 응용 현황
기계와 재료
1997 .01
상압 플라즈마의 생성과 응용
인포메이션 디스플레이
2014 .01
유도 결합형 열 플라즈마의 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
산소 플라즈마를 이용한 Photo Resist 제거 ( Photo Resist Stripping by Oxygen Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
포토레지스트의 동향과 전망
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2002 .10
Hydrogen Plasma Characteristics for Photoresist Stripping Process in a Cylindrical Inductively Coupled Plasma
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2013 .08
대기 오염 물질 제어를 위한 방전 플라즈마의 응용
조명·전기설비
2008 .12
핵연료재료의 플라즈마 가속산화반응을 위한 산소플라즈마의 광학적 진단
한국방사성폐기물학회 학술대회
2012 .01
Photoresist Technology
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
그리드를 장착한 DC 마그네트론 플라즈마의 플라즈마 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
상압 플라즈마를 이용한 반도체 포토레지스트 에싱 연구
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2007 .01
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