ECR 플라즈마 식각 장치에서 플라즈마 변수가 식각 특성에 미치는 영향 ( Effects of Plasma Parameters on Etch Characteristics in ECR Etcher )

김정호 ,  이호준 ,  이석현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

The Properties of AlGaAs / GaAs Infrared LED by using Metal wet etch Process

이철진 ,  라용춘 ,  이은철 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Oxide Etcher

신태호

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2008 .01

습식식각공정에 의한 High Speed용 AlGaAs/GaAs 적외선 LED 소자의 특성

이철진 ,  라용춘 ,  성만영 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .11

Self-Aligned Contact Etching using High Density Plasma Etcher

강창진 ,  최창원 ,  민경진 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

선택적 용액식각을 이용한 AlGaAs 렌즈 제작 및 AlGaAs / GaAs LED에의 응용 ( Fabrication of AlGaAs Lenses and AlGaAs / GaAs LED using the Selective Meltback Effect )

유태경 ,  함성호 ,  권영세

대한전자공학회 학술대회

1988 .11

Characteristics of High Aspect Ratio Small Contact Etching in RIE Etcher

정상섭 ,  신철호 ,  민경진 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

GaAs/AlGaAs 광위상 변조기의 제작과 측정

김병성 ,  정영철 ,  변영태 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

GaAs / AlGaAs 양자우물을 이용한 이온건식식각의 Damage 평가 ( Evaluation of Damage Introduced by Reactive lon Etch Using GaAs / AlGaAs Quantum Well )

김현태 ,  마동성 ,  J. Motohisa 외 1명

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

GaAs 및 AlGaAs 완충층을 이용한 GaAs MESFET 제작 ( GaAs MEFETs Using GaAs and AlGaAs Buffer Layers )

곽동화 ,  이희철

전자공학회논문지-A

1994 .12

Low Noise GaAs P-HEMTs Recessed by ECR Plasma Etching

Hyun Tae Choi ,  Jin Hee Lee ,  Hyung Sup Yoon 외 5명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

수치해석을 이용한 AlGaAs-GaAs 이종접합에서의 전자밀도 분석 ( Analysis of the Electron Density at AlGaAs-GaAs Heterojunction using Numerical Method )

엄기수 ,  정학기 ,  이문기 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .05

AlGaAs/GaAs HBT의 전력 특성에 관한 연구

이제희 ,  김연태 ,  송재복 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

Temperature Effects on the Characteristics of AlGaAs / GaAs HBT

Duk Young Kim ,  Jae Hong Pa ,  k 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

HEMT 소자 제작을 위한 GaAs/AlGaAs층의 선택적 건식식각 ( Selective Dry Etching of GaAs/AlGaAs Layer for HEMT Device Fabrication )

김흥락 ,  서영석 ,  양승주 외 4명

전자공학회논문지-A

1991 .11

Etch Simulator 개발을 위한 High Density Oxide Etcher 식각 특성 분석

강정원 ,  이동현 ,  김재정

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

GaAs / AlGaAs MQW 투과형 광 변조기 제작에 관한 연구 ( A Study on GaAs / AlGaAs Transmission Type Optical Modulator Fabrication )

김병구 ,  이승원 ,  권오대 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

고밀도 평판형 유도결합 BCl/SF 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs와 InGaP 반도체의 선택적 식각에 관한 연구

유승열 ,  류현우 ,  임완태 외 7명

한국재료학회지

2005 .01

유기금속기상 에피탁시에 의한 GaAs/AlGaAs 양자 구조의 선택 성장

김무성 ,  김용 ,  김성일 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

ECR Etch에 의한 MoSi₂ 막의 식각 특성

이한신 ,  강희복 ,  박지순 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07