반도체공장(클린룸)의 공조부하특성에 관한 연구 ( Charateristics Thermal Load for HVAC System in Cleanroom for Semiconductor Manufacturing )

심우식; 손장열; 김창수

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저자정보: 심우식 손장열 김창수

저널정보: 대한건축학회 대한건축학회 학술발표대회 논문집 - 계획계 대한건축학회 학술발표대회 논문집 - 계획계 제11권 제1호

발행연도: 1991.4

수록면: 315 - 318 (4page)

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1991

반도체공장 (클린룸) 의 공조부하특성에 관한 연구 ( Characteristics of Thermal Load for HVAC System in Cleanroom for Semiconductor Manufacturing )

심우식 , 손장열 , 김창수 대한건축학회 논문집 1991.10 학술저널

반도체공장(클린룸)의 공조부하특성에 관한 연구 ( Charateristics Thermal Load for HVAC System in Cleanroom for Semiconductor Manufacturing )

심우식 , 손장열 , 김창수 대한건축학회 학술발표대회 논문집 - 계획계 1991.04 학술대회자료

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On this study, we investigated, compared and analyzed the environmental conditions and the characteristics of thermal load classified by process and the type of load in semiconductor manufacturing cleanrooms around the suburb of Seoul. The process are classified into fabrication, assembly and test process and the types of load into outdoor air ventilation, internal heat sources (heat generated from machines, lighting equipment and human body etc.), the power of a blower and heat transmission of wall. Especially, we found that the cooling load of manufacturing process needs ten to twenty times, and that of assembly and test process needs about four or five times in comparison with that of a common building.

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주요연구분야 공학 > 건축공학 > 건축공학 일반 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

논문수 414 이용수 37,618

김창수

소속기관 Shandong Jianzhu University

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