반도체공장 (클린룸) 의 공조부하특성에 관한 연구 ( Characteristics of Thermal Load for HVAC System in Cleanroom for Semiconductor Manufacturing )

심우식; 손장열; 김창수

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자료유형: 학술저널

저자정보: 심우식 손장열 김창수

저널정보: 대한건축학회 대한건축학회 논문집 대한건축학회 논문집 제7권 제5호

발행연도: 1991.10

수록면: 307 - 312 (8page)

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반도체공장 (클린룸) 의 공조부하특성에 관한 연구 ( Characteristics of Thermal Load for HVAC System in Cleanroom for Semiconductor Manufacturing )

심우식 , 손장열 , 김창수 대한건축학회 논문집 1991.10 학술저널

반도체공장(클린룸)의 공조부하특성에 관한 연구 ( Charateristics Thermal Load for HVAC System in Cleanroom for Semiconductor Manufacturing )

심우식 , 손장열 , 김창수 대한건축학회 학술발표대회 논문집 - 계획계 1991.04 학술대회자료

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본 연구에서는 기존 반도체 공장의 클린룸을 대상으로 공정별에 따라 공조부하의 특성과 문제점을 파악하고 전체 공조부하의 과반수 정도를 차지하고 있는 외기부하에 대하여 그 부하량을 예측.평가함으로써 클린룸에서의 에너지 절약에 대한 방향제시 및 설비설계의 기초자료를 제공한다.

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소속기관 한양대

주요연구분야 공학 > 건축공학 > 건축공학 일반 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

논문수 414 이용수 37,604

김창수

소속기관 Shandong Jianzhu University

주요연구분야 공학 > 건축공학 > 건축공학 일반 공학 > 건축공학 > 토목공학

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