코팅된 실리콘웨이퍼의 미소 마찰마멸특성에 관한 연구 ( Investigation of Micro-tribological Properties of Coated Silicon Wafer under Light Load )

차금환 ,  김대은

Tribology and Lubricants

1999 .03

MICROTRIBOLOGICAL PROPERTIES OF FLUORINATED AMORPHOUS CARBON COATINGS

Hen ,  y Haefke ,  I. Ahmed 외 4명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2002 .10

실리콘 웨이퍼의 화학반응층 분석에 관한 연구

박준민 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

기능성 실리콘 코팅제

장성훈

고분자 과학과 기술

2001 .10

마이크로시스템 응용을 위한 SU-8 코팅층의 Tribological 특성 고찰

신명근 ,  김형만 ,  한상철 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .06

크롬이 코팅된 실리콘 팁 어레이의 전계 방출 특성

朱炳權 ,  孟寅永 ,  李允熙 외 2명

전기학회논문지

1997 .10

실리콘 웨이퍼 연삭가공 특성 평가에 관한 연구

이상직 ,  정해도 ,  이은상 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

1999 .05

실리콘 웨이퍼 미세 표면결함의 광산란 특성 평가

하태호 ,  송준엽 ,  Takashi MIYOSHI 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .06

초미세 위치결정시스템을 이용한 실리콘 웨이퍼의 파괴거동에 관한 연구

박기태 ,  이병룡 ,  박규열 외 1명

한국공작기계학회지

2000 .02

실리콘 웨이퍼 표면에서 나노 입자의 거동

이종명 ,  김태훈 ,  조성호 외 3명

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2003 .01

반도체용 실리콘 웨이퍼의 진동 해석 ( Vibration Analysis of a Cubic-crystalline Silicon Wafer )

조진우 ,  김진오

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

산소농도 16ppma 이하 단결정 실리콘 웨이퍼의 태양전지 효율에 관한 연구

육영진 ,  이윤호 ,  남우석 외 5명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2016 .05

박막화 과정을 거친 단결정 실리콘 웨이퍼의 기계적 물성에 크기 및 방향이 미치는 영향

이상민 ,  김재한 ,  김영석 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .04

반도체용 실리콘 웨이퍼의 초정밀 입자 가공

이은상 ,  이정택 ,  원종구

기계저널

2010 .06

실리콘 웨이퍼 상에 제작된 미소 유로에서의 유동특성 ( Flow Characteristics in a Microchannel Fabricated on a Silicon Wafer )

김형우 ,  원찬식 ,  정시영 외 1명

대한기계학회 논문집 B권

2001 .12

실리콘웨이퍼 평탄도 추정 알고리즘을 위한 디지털 컨텐츠에 관한 연구

송은지

디지털콘텐츠학회논문지

2004 .12

마이크로 볼 임베디드 폴리머 시트의 트라이볼로지적 특성 분석

한도렬 ,  서국진 ,  신동갑 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

Temperature Measurement of Silicon Wafers Using Phase Estimation of Acoustic Wave

姜俊赫 ,  李錫垣

전기학회논문지 C

2003 .11

SVM 기반 실리콘 웨이퍼의 마이크로크랙 분류에 관한 연구

김상연 ,  김경범

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .10

실리콘 카바이드 웨이퍼 및 소자 기술

구상모

전기의세계

2010 .02