램리서치_용인 캠퍼스 개관한 램리서치, K-반도체 인재 양성 속도낸다

서재창

전자기술

2024 .11

Thermal ALD로 증착된 몰리브덴 박막의 증착 특성

이백주 ,  천민호 ,  이규범 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2022 .06

램리서치코리아_반도체 솔루션 개발 가속화할 수 있었던 저력은?

서재창

전자기술

2024 .01

반도체대전 2022_램리서치, 반도체 공정 혁신 위한 국내 투자 지속하다

서재창

전자기술

2022 .11

시이퀀스 제어회로에서 최적배선공법의 적용에 관한 연구

안경문 ,  김희식

정보 및 제어 논문집

2015 .10

[스웨즈락] 최적의 밸브로 ALD 공정의 정확성 및 일관성 개선하는 방법

금연욱

전자기술

2023 .04

한국의 4M DRAM 공동연구개발 사례연구(상(上))

주대영

반도체디스플레이기술학회지

2019 .01

지속가능한 반도체 ALD 공정챔버의 가스유동장 수치해석

유경훈 ,  송근수 ,  김춘식 외 4명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2023 .06

반도체 산업 동향_위기의 메모리 반도체, D램 수요 확대 시기는 언제?

서재창

전자기술

2023 .02

반도체 ALD 공정챔버의 마이크로 공정갭 가스유동장 설계

유경훈 ,  송근수 ,  김춘식 외 4명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2024 .06

차세대 인터커넥션 적용을 위한 ALD Ru 금속 박막의 비저항 변화 연구

조인호 ,  이승훈 ,  황해인 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .07

UNIST_전기 덜먹고 발열 줄인 ‘M램’ 메모리 반도체 기술 개발

서재창

전자기술

2024 .12

ALD 공정에 따른 그래핀 에어로젤의 열전도도 변화

한승훈 ,  김덕종

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

ALD공정을 이용한 페로브스카이트 태양전지 대기 안정성 개선 방안 연구

한동현 ,  백승재 ,  김규민 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2022 .07

멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발

김현범 ,  이재욱 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향

고은총 ,  안지상 ,  한정환

한국표면공학회지

2022 .12

ALD enabled Functional Nano Thin Films for Improved Performance of Energy Devices

권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

반도체 금속배선 문제 및 우주산업제품 고려사항

허건의

항공우주산업기술동향

2022 .07

라인형 플라즈마 소스를 이용한 ALD 공정 연구

권기청 ,  조태훈 ,  최진우 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications

이우재 ,  Susata Be ,  aa 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2021 .06