3차원 임피던스 센서를 이용한 용액 증발 과정 모니터링

박준희; 유태균; 이지승; 박찬흠; 고재현; 장문규

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박준희 (한림대학교) 유태균 (한림대학교) 이지승 (한림대학교) 박찬흠 (한림대학교) 고재현 (한림대학교) 장문규 (한림대학교)

저널정보: 한국물리학회 새물리 새물리 제69권 제5호

발행연도: 2019.5

수록면: 578 - 583 (6page)

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임피던스 분석은 산화 환원 반응, 세포 약물 반응 등을 연구하는 데 사용되는 전기 화학적 방법 중 하나이다. 본 연구에서는 용액 내부의 임피던스 변화를 3차원적으로 측정 할 수 있는 센서를 제작하였다. 센서는 반도체 및 MEMS (Micro Electro Mechanical System) 공정과 3D 프린터를 사용하여 제작하였으며, 센서의 특성을 확인하기 위해 이소프로필 알코올 증발 과정의 임피던스 변화를 3차원적으로 측정하였다. 실험은 전기적 셀-기판 임피던스 측정법(Electric Cell-substrate Impedance Sensing)을 기반으로 하여 이소프로필 알코올의 증발과정에서 임피던스 변화를 분석하였다. 그 결과 이소프로필 알코올의 증발 속도를 확인하여 센서의 기초적 특성을 확인하였고 센서의 신뢰성이 확립되었다.

#Isopropyl alcohol #Sensor #ECIS #Impedance #Evaporation #이소프로필 알코올 #임피던스 센서 #증발 #3D 프린팅 #MEMS

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장문규

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