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Gayoung Lee (Hallym University) Jaehun Jeong (Hallym University) Jisu Choi (Hallym University) Yeyeon Kim (Hallym University) Sooyong Shin (Hallym University) Sungho Jeon (Hallym University) Moongyu Jang (Hallym University)
저널정보
한국자기학회 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 2021년도 한국자기학회 하계학술연구발표회
발행연도
2021.7
수록면
8 - 8 (1page)

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Electrical Cell-substrate Impedance System and Electrical Impedance Spectroscopy are the widely used methods in the field of biosensors for the monitoring of the status of cell. On the contrary, the usually used biosensors are bulky and hard to monitor in real time.
In this work, temperature/impedance integrated sensors are manufactured using semiconductor process for the simultaneous monitoring of the temperature and impedance variations during the cell-drug reactions. The developed platinum thin film temperature sensor showed the inaccuracy less than ±0.05 ℃ and the MEMS process is adopted to e ... 전체 초록 보기

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