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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박현빈 (전남대학교) 김하술 (전남대학교)
저널정보
한국물리학회 새물리 새물리 제69권 제7호
발행연도
2019.7
수록면
760 - 765 (6page)

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은 박막으로 이루어진 두께 50 nm, 홀 (hole) 피치 (pitch) 5.5 μm, 홀 크기가 3 μm로 구성된 적외선 플라즈모닉스(plasmonics) 소자를 제작하였다. 고속 열처리기(rapid thermal processor)를 이용하여 400 ℃ 열처리 후, XRD를 이용한 분석결과 산화은 (AgO₂) 이 형성된 것을 확인 하였다. 열처리 후 플라즈모닉스 소자의 최대 투과도는 일부 감소하였으나, 투과도의 최대 피크 파장이 17 μm에서 17.4 μm로 변화가 관측 되었다. 또한 반치전폭(full width at half maximum)의 크기가 2 μm에서 5.4 μm로 증가하였으며, 피크 (peak) 파장 영역을 제외한 전체적 스펙트럼 투과도는 약 2 배 증대 되었다. 이는 열처리로 인하여 AgO2 의 형성으로 플라즈모닉스 소자 표면의 굴절률 변화에 따라 발생한 효과로 여겨진다. 따라서 이와 같은 열처리 방법을 이용하면, 이미 제작된 플라즈모닉스 소자의 투과 파장 대역을 쉽게 조정할 수 있을 것으로 예상된다.

목차

I. 서론
II. 이론 및 실험 방법
III. 실험결과 및 논의
IV. 결론
REFERENCES

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