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본 연구에서는 RF 스퍼터링 시스템으로 증착한 MgZnO 박막의 증착 파워에 따른 박막 형성 특성을 파악하였다. Mg<sub>0.3</sub>Zn<sub>0.7</sub>O 타겟을 이용하여 150 W, 200 W, 250 W, 300 W의 파워로 박막을 제작하였다. XRD 결과에서 증착 파워가 올라갈수록 MgZnO의 hexagonal (002) 방향 결정성이 높아지는 반면, 300 W에서는 MgO (200) 결정성이 나타나기 시작하면서 MgZnO (002) 결정성은 급격히 축소되었다. 또한 250 W까지 증착 파워가 증가할수록 Zn2<sub>p3</sub> 의 결합 에너지가 pure ZnO의 결합에너지에 근접하였고, 이는 증착 파워 증가에 따라 ZnO 결정성이 좋아짐을 의미한다. 하지만 결정성이 좋아지면서 전자를 내놓을 산소 공공(oxygen vacancies)이 감소하여 전자 농도, 이동도(Mobility)와 전기전도도의 감소로 이어지는 것을 홀 측정으로 확인하였다.
목차
I. 서론
II. 실험
III. 결과
IV. 결론
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