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The adiabatic distance r<sub>ad</sub> of K shell ionization increases with increasing energy(E) while the shadow cone radius, R<sub>M</sub> decreases with increasing energy(E), where E is the incident ion energy. Three distinct regions of R<sub>M</sub> are found r<sub>ad</sub>: R<sub>M</sub> > r<sub>ad</sub>, R<sub>M</sub> = r<sub>ad</sub>, R<sub>M</sub> < r<sub>ad</sub>. In case of R<sub>M</sub> > r<sub>ad</sub>, the interaction probability for strong thermal vibration correlation goes to zero because the rear lattice atom hides completely behind the shadow cone. At R<sub>M</sub> = r<sub>ad</sub>, which comes from the intersection of R<sub>M</sub> and r<sub>ad</sub>, the interaction probability clearly depends on the strength of the thermal vibration correlation and has non-zero value at high correlation coefficients. In case of R<sub>M</sub> < r<sub>ad</sub>, the interaction probability is the highest but there is no noticeable dependence on the correlation coefficient. The optimized condition is R<sub>M</sub> = r<sub>ad</sub> and therefore the optimized incident ion energy E of H<sup>+</sup> [100] axis is 1.29 MeV, [110] 1.09 MeV, [111] 0.85 MeV and there of ⁴He<sup>+</sup> [100] axis are 3.66 MeV, [110] 3.08 MeV, [111] 2.42 MeV in silicon.
목차
I. INTRODUCTION
II. THEORY
III. RESULTS AND DISCUSSION
IV. CONCLUSION
REFERENCES
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