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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.25 No.6
- 발행연도
- 2016.11
- 수록면
- 116 - 119 (4page)
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In this study, we fabricated the K<SUP>+</SUP> ion source for the various purposes and investigated the emission characteristics. The fabricated K<SUP>+</SUP> ion source was painted in the tungsten filament to make filament type ion source. The RGA spectra show that the filament type K<SUP>+</SUP> ion source has a good out gassing character, so it can be used in the ultra-high vacuum system. The maximum K<SUP>+</SUP> ion current was 20 mA when filament temperature was 1410 K and filament potential was 50 V. When the filament temperature was 1070 K, the initial beam current was 50 mA and decreased only by 2% during 4 hours. The emitting energy was measured to be 2.04 eV. This low value means that the fabricated specimen is a good K+ ion source. We conclude that this filament type ion source can be used in various fields, including the LEIS research.
목차
Abstract
I. Introduction
II. Experiment
III. Results and Discussion
IV. Conclusions
References
참고문헌 (27)
참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - S. L. Koontz / 1981 / / International J. of Mass Spectrometry and Ion Physics 37 (2) : 227 ~
[학술지(정기간행물)] - P. Cristopher Selvin / 2001 / / Rev. Sci. Instrum 72 : 2248 ~
[학술지(정기간행물)] - G.E.Bugrov / 2003 / Optimisation of cold cathode ion source model / Current Applied Physics 3 (6) : 485 ~ 489
[학술지(정기간행물)] - B. S. Cho / 2011 / / Current Appl. Phys 11 : S172 ~
[학술지(정기간행물)] - H. H. Brongersma / 2007 / / Surface Science Reports 62 : 63 ~
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[학술지(정기간행물)] - G.E.Bugrov / 2003 / Optimisation of cold cathode ion source model / Current Applied Physics 3 (6) : 485 ~ 489
[학술지(정기간행물)] - B. S. Cho / 2011 / / Current Appl. Phys 11 : S172 ~
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