Investigation of Electrical Coupling by Random Dopant Fluctuation in monolithic 3D Inverter Stacked with MOSFETs

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저자정보: Geun Jae Lee (Spruson & Ferguson) Faraz Najam (Spruson & Ferguson) Yun Seop Yu (Hankyong National University)

저널정보: 한국정보통신학회 INTERNATIONAL CONFERENCE ON FUTURE INFORMATION & COMMUNICATION ENGINEERING 2023 INTERNATIONAL CONFERENCE ON FUTURE INFORMATION & COMMUNICATION ENGINEERING Vo.14 No.1

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#Random dopant fluctuation #Monolithic 3D #Monte-Carlo simulation #Process variation

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