Precision Dishing Control in Chemical Mechanical Polishing using Surface Structured Pads for Hybrid Bonding

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저자정보: Seulah Park (한국과학기술원 (KAIST)) Sukkyung Kang (한국과학기술원 (KAIST)) Dong Geun Kim (한국과학기술원 (KAIST)) Sanha Kim (한국과학기술원 (KAIST))

이용수

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#하이브리드 본딩(Hybrid Bonding) #화학적 기계적 연마(Chemical Mechanical Polishing) #디싱제어(Dishing Control) #표면 구조화 패드(Surface Structured Pad)

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