반도체 베이크 모듈에서 진공 상태의 열 전달 메커니즘 분석

이용재 ,  김미루 ,  김동민 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

반도체 장비 Heater Module 의 고장메커니즘

안영기 ,  이현석 ,  한창운 외 5명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .02

제동 장치 진공 배력 시스템의 운전부하 측면 평가 방안 연구

이예쁜 ,  이영석 ,  문철우 외 1명

한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회

2017 .11

반도체 제조용 히터 모듈의 열해석

우대성 ,  도건영 ,  김병국 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

진공 단열 배관의 진공도 변화에 따른 열전달 특성 평가

김명진 ,  한승호

한국기계가공학회지

2023 .02

사각진공탱크의 진공압에 의한 변형해석 및 설계 최적화

이경민 ,  이현우 ,  예병효 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .04

진공 가열로 전열해석에 관한 연구

윤용한 ,  차승훈 ,  최만호

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2016 .10

반도체 장비 시장_거세지는 美 반도체 규제 바람, 반도체 산업 지형도 바뀌나?

서재창

전자기술

2023 .03

철도차량용 진공인터럽터 진공도 감시방안에 관한 연구

서종보 ,  이태훈 ,  남한석 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2022 .05

진공 단열 이중 배관의 열전달 특성 평가

김명진 ,  한승호

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .12

KSTAR PFC와 진공용기의 가열탈리 단계에서의 온도특성에 관한 연구

유성연 ,  김영진 ,  정남용 외 2명

설비공학논문집

2015 .03

마이크로 LED 칩 전사용 진공 디바이스 개발

김예빈 ,  김용화 ,  김성동 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .12

진공차단기 진공 건전성 시험 방법

변상윤 ,  박진엽

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .07

진공 환경에서 고발열 펄스의 열적 안정성에 대한 해석적 연구

송준형 ,  원종효 ,  이인근 외 1명

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2024 .12

수치적으로 연구된 반도체 제조장비의 제어모듈의 열특성에 대한 매개변수 영향

원문충 ,  김경준

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .04

GIST - 그린 수소 생산 위한 유기 반도체 기반 모듈 시스템 개발

서재창

전자기술

2022 .08

진공을 이용한 마이크로 LED 전사 디바이스 개발

김인주 ,  김성동

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2022 .07

자동차용 전력반도체 모듈의 접합기술

임헌창

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

2019 .05

반도체 제작을 위한 상압 로 모델 열전달 메커니즘 가시화 및 분석

조선 ,  이승호 ,  고한서

한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

진공게이트 밸브를 적용한 다단진공 다이케이스팅의 공정설계

손영범 ,  서영재

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05