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원문충 (부경대학교) 김경준 (부경대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 신뢰성부문 2016년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2016.4
수록면
61 - 61 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2016

반도체 제조장비의 제어모듈의 열특성 조사를 위한 컴팩트 열모델
원문충 ,  김경준 대한기계학회 춘추학술대회 2016.04 학술대회자료
수치적으로 연구된 반도체 제조장비의 제어모듈의 열특성에 대한 매개변수 영향
원문충 ,  김경준 대한기계학회 춘추학술대회 2016.04 학술대회자료

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#Thermal Behaviors #Control Modules #Semiconductor Manufacturing #CFD

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