구조화된 표면을 가진 패드의 특성이 세정 효율에 미치는 영향에 관 한 연구

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저자정보: 정호경 (한국생산기술연구원) 김도연 (한국생산기술연구원) 조한철 (한국생산기술연구원) 김형재 (한국생산기술연구원) 정해도 (부산대학교)

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#세정(Cleaning) #마이크로 패턴 패드(Mirco Pattern Pad) #세정 효율(Particle Removal Efficiency) #접촉 길이(Contact Length)

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