지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2023.11
- 수록면
- 1 - 6 (6page)
- DOI
- 10.5762/KAIS.2023.24.11.1
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
반도체 및 디스플레이 소자들의 제작에 사용되는 박막증착 장비들은 주기적으로 챔버 내부에 축적된 폴리머를 제거하는 세정작업을 받아야 한다. 기존의 샌드 블래스트 세정방법은 복잡하고 시간과 비용이 많이 필요할 뿐 아니라 환경오염의 우려가 있다. 이러한 단점을 극복하기 위해 본 연구에서는 적외선 펄스레이저를 이용한 새로운 세정방법을 개발하고, 이를 박막증착 장비 내의 대면적 디퓨저(diffuser)에 흡착되어 있는 AlF 박막을 제거하는데 적용함으로써 그 성능을 평가하였다. 그 결과, 디퓨저의 표면에 잔류하는 불소의 농도는 기존 세정방법보다 50% 정도로 낮아졌고, 또한 세정 후 표면의 거칠기도 50% 이하로 줄어들어 세정과정이 표면에 주는 물리적 손상도 훨씬 작다는 점을 알 수 있었다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 토의
4. 결론
References
참고문헌 (15)
참고문헌 신청
K. H. Kim, K. S. Kim, Y. J. Ji, J. E. Kang, G. Y. Yeom, “Silicon nitride deposited by assisted plasma enhanced chemical vapor deposition for next generation organic electronic devices”, Applied Surface Science , Vol.541, 148313, 2021. DOI: https://doi.org
P. Braganca, K. Sodjavi, A. Meslem, I. Nastase, “Passive control strategy for mixing ventilation in hearting mode using lobed inserts”, Energy and Buildings , Vol.133, pp.512-528, Oct. 2016. DOI: https://doi.org/10.1016/j.enbuild.2016.10.023
E. Oranli, N. Gungoren, A. H. Astaraee, E. Maleki, S. Bagherifard, M. Guagliano, “Numerical and experimental analysis of sand blasting on polymeric substrates”, Forces in Mechanics , Vol.12, 100208, June 2023. DOI: https://doi.org/10.1016/j.finmec.2023.10
H. Beyer, W. Ross, R. Rudolph, A. Michaelis, J. Uhlenbusch, W. Viöl, “Interaction of CO2 laser pulses of microsecond duration with Al2O3 ceramic sustrates”, Journal of Applied Physics , Vol.70, No.1, pp.75-81, 1991. DOI: https://doi.org/10.1063/1.350246
S. H. Yu, H. Jeon, H. Ko, J. H. Cha, S. Jeon, M. Jae, G. H. Nam, K. Kim, Y. Gil, K. Lee, D. S. Chung, “Polymer-based semiconductor wafer cleaning: The roles of organic acid, processing solvent, and polymer hydrophobicity”, Chemical Engineering Journal , V
P. Braganca, K. Sodjavi, A. Meslem, I. Nastase, “Passive control strategy for mixing ventilation in hearting mode using lobed inserts”, Energy and Buildings , Vol.133, pp.512-528, Oct. 2016. DOI: https://doi.org/10.1016/j.enbuild.2016.10.023
E. Oranli, N. Gungoren, A. H. Astaraee, E. Maleki, S. Bagherifard, M. Guagliano, “Numerical and experimental analysis of sand blasting on polymeric substrates”, Forces in Mechanics , Vol.12, 100208, June 2023. DOI: https://doi.org/10.1016/j.finmec.2023.10
H. Beyer, W. Ross, R. Rudolph, A. Michaelis, J. Uhlenbusch, W. Viöl, “Interaction of CO2 laser pulses of microsecond duration with Al2O3 ceramic sustrates”, Journal of Applied Physics , Vol.70, No.1, pp.75-81, 1991. DOI: https://doi.org/10.1063/1.350246
S. H. Yu, H. Jeon, H. Ko, J. H. Cha, S. Jeon, M. Jae, G. H. Nam, K. Kim, Y. Gil, K. Lee, D. S. Chung, “Polymer-based semiconductor wafer cleaning: The roles of organic acid, processing solvent, and polymer hydrophobicity”, Chemical Engineering Journal , V
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
레이저 세정에 의한 대면적 디퓨저의 세정과 표면거칠기 개선
한국산학기술학회 논문지
2025 .03
-
나노여과막공정에서의 염세정 및 삼투역세 세정효율 비교평가
대한환경공학회 학술발표논문집
2020 .11
-
구조화된 표면을 가진 패드를 적용한 세정공정에서의 세정 효율 향상을 위한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
-
Differences between Water Repellency and Self-cleaning Functions due to Changes in Surface Treatment Methods
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
-
구조화된 표면을 가진 패드의 특성이 세정 효율에 미치는 영향에 관 한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
-
세정 공정 중 발생하는 재오염 방지를 위한 카본블랙/PTFE 효과
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
-
무기오염에 따른 화학세정(CIP)시 세정약품이 막여과 성능에 미치는 영향
대한환경공학회 학술발표논문집
2015 .10
-
증기발생기 세정로봇 분사장치 노즐 변경 및 배열에 따른 세정 효과
한국방사성폐기물학회 학술대회
2016 .01
-
플라즈마 표면세정에 의한 ITO film 표면특성 변화
한국조명·전기설비학회 학술대회논문집
2015 .05
-
지중 매설관의 세정을 위한 카본 다이옥사이드 펠릿의 현장 적용성 검토
한국지반신소재학회 논문집
2017 .12
-
구강세정장치 개발을 위한 유동해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
-
마이크로 채널에서의 초음파 세정
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .08
-
친환경 공정을 활용한 자기세정 알루미늄 표면 개발
대한기계학회 논문집 B권
2024 .09
-
챔버의 산소 가스를 이용한 세정 조건의 압력 영향성 연구
대한전자공학회 학술대회
2020 .08
-
에어제트를 이용한 웨이퍼 표면 입자 세정 효과에 대한 연구
대한기계학회 논문집 B권
2020 .09
-
압력에 따른 구강 세정 장치의 유동해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
-
초음파를 활용한 미소 채널 세정
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .04
-
RO설비 세정시스템 최적화 검토사례
대한기계학회 춘추학술대회
2015 .05
-
Effects of Fouling Reduction by Intermittent Aeration in Membrane Bioreactors
멤브레인
2015 .01
-
압축성 유동해석에 기초한 곡면 세정을 위한 브라스팅 광폭 노즐의 설계 및 성능시험
에너지공학
2019 .03
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0