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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2025.2
- 수록면
- 134 - 143 (10page)
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Stretchable electronics are gaining attention with the development of skin-compatible health monitoring sensors and robotics applications. However, existing stretchable electronics show a tradeoff between reliability and stretch-ability when constructing transistor arrays. We aim to construct highly stretch-able thin-film transistor (TFT) arrays with high reliability for large sensor backplanes. The fabricated structure comprises oxide TFTs and serpentine-shaped molybdenum interconnects that are sandwiched between top and bot-tom polyimide layers, achieving robustness under repeated tensile strain. Dif-ferent materials for polyimide etch masks (i.e., aluminum, silicon nitride, and indium tin oxide) are tested. Within an 83.7 mm �� 61 mm area, TFT arrays with a resolution of 25 pixels per inch can be stretched up to 30% without con-siderable performance degradation. As our TFTs are fabricated using common materials from display manufacturing, our development and findings may sub-stantially benefit stretchable electronic industries where high reliability is required for large-area panels.
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