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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제28권 제6호
발행연도
2015.1
수록면
351 - 359 (9page)

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차세대 디스플레이는 투명하면서 유연한 디스플레이의 실현 뿐 만 아니라, 고해상도 및 높은 프레임 수 구현이 필수적이다. 능동형유기발광다이오드 및 차세대 디스플레이에 요구되는 핵심 요소로서 고이동도와 대면적 균일도를 가지는 박막트랜지스터(TFT) 소자 개발이 필수적이다. 현재까지의 투명디스플레이에 응용되는 TFT는 산화물 반도체를 채널층으로 하는 산화물 TFT가 주를 이루며, 그 중에서도 산화아연계 물질인 인듐-갈륨-아연-산화물이 디스플레이 업계의 주목을 받고 있다. 이번 논문에서는 그 동안 평판디스플레이에 널리 이용되었던 낮은 이동도의 한계를 가지는 비정질 실리콘 TFT 및 복잡한 공정 및 도핑공정 등 고비용의 장비를 필요로 하는 폴리실리콘 TFT의 단점을 극복하고, 차세대 고속 구동 디스플레이에 응용되는 저비용 산화물 TFT의 이동도 향상에 대한 그 동안의 연구 결과에 대해 정리하면서 앞으로의 연구 방향을 제시하고자 한다.
#Next-generation displays #Transparent #Flexible #Thin-film transistor #Oxide semiconductor #High mobility

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[학술지( google schola A. Sato / 2009 / / Thin Solid Films 518 : 1309 ~ google schola C. Brox-Nilsen / 2013 / / IEEE Trans. Electron Dev. 60 : 3424 ~ google schola C. Chiu / 2010 / / IEEE Electron Dev. Lett. 31 : 1245 ~ google schola C. Fuh / 2014 / / IEEE Electron Dev. Lett 33 : 1103 ~ google schola

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