메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김기헌 (삼성전자) 이미림 (홍익대학교)
저널정보
한국경영과학회 경영과학 經營科學 第41卷 第4號
발행연도
2024.12
수록면
61 - 73 (13page)
DOI
10.7737/KMSR.2024.41.4.061

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
In order to solve nonlinear parameter estimation problems, many heuristic algorithms have been developed in a variety of academic and industrial fields. In most cases, the users need to set initial parameter values or a set of initial feasible solutions before executing the heuristic algorithms. However, these settings often affect the quality of their solutions in terms of searching time and estimation accuracy. The framework suggested in this study is designed to search appropriate initial parameter values and the set of initial feasible solutions for such heuristic algorithms, and thus to improve the performance of the existing algorithms. The framework consists of two stages. In the first stage, it searches initial parameter values required by a selected heuristic algorithm and saves the useful information about the solutions obtained during the stage. In the second stage, the framework uses the saved information to efficiently construct the initial set of feasible solutions for the algorithm and then solves the nonlinear parameter estimation problem with the set. The framework is applied to an existing heuristic algorithm to improve its performance and tested for the case of measuring critical dimensions of semiconductors. In the case study, the framework shows that more accurate solution can be derived in shorter time with the less number of calculations when it is compared to the original heuristic algorithm without the framework.
#Non-linear Parameter Estimation #Heuristic #Critical Dimensions #Semiconductors

목차

Abstract
1. 서론
2. 비선형 모수 추정 문제
3. 개선 프레임워크 제안
4. 적용사례: 반도체 임계 치수 계측
5. 실험 및 결과
6. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-151-25-02-092095763