Microdeflectometry 를 이용한 미세 형상 측정

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저자정보: 박종규 (과학기술연합대학원대학교) Manh The Nguyen (한국표준과학연구원) 이혁교 (한국표준과학연구원) 김영식 (한국표준과학연구원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2024년도 추계학술대회 논문집

이용수

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#Deflectometry #Microscope #Digital micromirror device #Spatial phase shifting

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