고정밀 광학부품의 비접촉식 3D 형상 측정기술

김영식; 안희경; 이혁교

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김영식 (한국표준과학연구원) 안희경 (한국표준과학연구원) 이혁교 (한국표준과학연구원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2020년도 통합학술대회 논문집

발행연도: 2020.9

수록면: 716 - 716 (1page)

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#3D Surface Profiling #Lateral Shearing Interferometry #Deflectometry #Fourier Ptychographic Microscope #Diffraction Limit

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