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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
정효빈 (조선대학교) 주기남 (조선대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.38 No.6
발행연도
2021.6
수록면
397 - 403 (7page)
DOI
10.7736/JKSPE.021.010

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In this investigation, we propose a flexible structured illumination microscope (FSIM) to eliminate mechanical moving parts for the phase shifts in the spatial pattern and longitudinal scanning of the specimen. In order to prevent these mechanical motions, we adopt a focus-tunable lens and digital micromirror device (DMD) to replace the lateral motion of the pattern and the scanning of the specimen, respectively, which leads to the enhancement of rapid and precise measurement results for measuring the 3D surface profile of specimens. To realize the proposed system, two types of flexible structured illumination microscopes, Macro and micro types, were constructed and their performances were verified with a plane mirror and step height specimens.

목차

1. 서론
2. 유연 대처 패턴 조사 현미경
3. 실험 결과
4. 논의
5. 결론
REFERENCES

참고문헌 (8)

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