Comparative Analysis of Surface Properties in SiGe Substrates Following wet treatment Using Raman Spectroscopy and Contact Angle Measurements

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저자정보: Hwa Rim Lee (Chung-Ang University) Eun Su Jung (Chung-Ang University) JinUk Yooa (Chung-Ang University) Tae Min Choi (Chung-Ang University) Sung Gyu Pyo (Chung-Ang University)

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#SiGe #wet etch #alkaline etchant #raman spectroscopy #contact angle

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