지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2017.11
- 수록면
- 155 - 163 (9page)
- DOI
- 10.14801/jkiit.2017.15.11.155
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
박막의 변형률은 소자의 전기적인 특성에 영향을 미치기 때문에 변형률을 정확히 측정하고 분석하는 것이 매우 중요하다. 따라서 최근에는 투과전자현미경 이미지에서 격자들의 변형률을 분석할 수 있는 GPA (Geometric Phase Analysis)방법이 개발되었다. 본 논문에서는 GPA방법에서 디지털이미지프로세싱을 보강하기 위해서 Matlab기반의 GPA방법을 제안하고, Si<SUB>1-x</SUB>Ge<SUB>x</SUB>/Si 이종접합구조의 HAADF이미지에 적용한 변형률 분석결과를 보여준다. Si<SUB>0.55</SUB>Ge<SUB>0.45</SUB>/Si 박막의 격자들의 변형률은 박막의 계면 방향으로는 Si0.55Ge0.45와 Si격자들의 변형률에 차이가 없으며 박막의 수직방향으로 격자들의 변형률이 Si<SUB>0.55</SUB>Ge<SUB>0.45</SUB> 대비 Si에서–2.3%±0.2%로 측정이 되었다. 다시 말하면, Si0.55Ge0.45위에 증착된 Si은 인장응력(Tensile Strained)박막이며 정방변형(Tetragonal Distortion) 되었다고 볼 수 있다. 측정값과 이론값 (-3.15%)에서 차이를 보이는 가능한 원인으로써 푸리에 변환을 이용한 디지털이미지프로세싱에 의한 오류와 전자현미경 샘플제작에 대한 오류에 대한 가능성에대해 논의하였다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 측정 방법
Ⅲ. 결과
Ⅳ. 결론 및 향후 과제
Ⅴ. 유첨
References
참고문헌 (13)
참고문헌 신청
D. Li, C. Huang, B. Cheng, H. Wang, and Q. Wang, Effect of low-temperature SiGe interlayer on the growth of relaxed SiGe, Journal of Crystal Growth, Vol. 213, No. 3-4, pp. 308-311, Jun. 2000.
M. H. Liao and C. H. Chen, The investigation of Optimal Si-SiGe Hetero-Structure Thin-Film Solar Cell with Theoretical Calculation and Quantitative Analysis, IEEE Trans. Nanotechnology, Vol. 10, No. 4, pp. 770-773, Sep. 2011.
M. K. Das and S. K. Choudhary, Ge-contect dependent efficiency of Si/SiGe heterojunction solar cell, Applied Physics A, Vol. 112, No. 3, pp. 543-548, Sep. 2013.
A. K. Singh, J. Tiwari, A. Yadav, and R. Kumar, Analysis of Si/SiGe Heterostructure solar cell, Journal of Energy, Vol. 2014, No. 946406, pp. 1-7, Jul. 2014.
E. Kadri, M. Krichen, and A. Arab, Analytical method for the analysis of thin SiGe/Si solar cells with front surface field, Optical and Quantum Electronics, Vol. 48, No. 305, pp. 1-17, May 2016.
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
변형률 속도에 따른 Fe-24.5Mn-4Cr-0.45C 합금의 인장 특성과 동적 변형시효
한국재료학회지
2016 .01
-
인발 봉재의 반경방향 불균일 변형률 평가
소성·가공
2020 .12
-
홉킨슨바 시편의 strain rate equation 에 의한 stress-strain 곡선과 rate-strain 곡선의 상호 연관성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
-
원격 플라즈마 화학기상 증착법으로 성장된미세 결정화된 SiGe 박막 형성
전기전자재료학회논문지
2018 .07
-
Comparative Analysis of Surface Properties in SiGe Substrates Following wet treatment Using Raman Spectroscopy and Contact Angle Measurements
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
-
Operational performance evaluation of bridges using autoencoder neural network and clustering
Smart Structures and Systems, An International Journal
2024 .03
-
Coupled Effect of Temperature and Strain Rate on Mechanical Properties of Steel Fiber‑Reinforced Concrete
International Journal of Concrete Structures and Materials
2020 .09
-
고변형률 영역 유효변형률-유효응력 선도 평가
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .11
-
Strain sensor based on strain-responsive block copolymer structural color
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2018 .04
-
불균일 변형률을 고려한 인발봉재의 강도 예측
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2021 .05
-
철근의 한계상태변형률 평가를 위한 이미지 프로세싱의 적용
한국구조물진단유지관리공학회 논문집
2016 .01
-
A new strain-based criterion for evaluating tunnel stability
Geomechanics & engineering
2018 .01
-
변형률 분포에 기반한 냉간 롤 포밍 공정 설계
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2017 .10
-
7천계 알루미늄 판재의 고온에서 변형율 속도에 따른 파단 변형율
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .07
-
94 GHz SiGe 믹서 MMIC 설계
한국통신학회 학술대회논문집
2019 .01
-
Effect of strain rate and stress triaxiality on fracture strain of 304 stainless steels for canister impact simulation
Nuclear Engineering and Technology
2022 .07
-
Pre-strain과 sensor extending을 활용한 미소 변형에서 높은 민감도를 갖는 변형 센서 제작
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
-
CT 시편의 Effective Strain Rate 에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
-
Temperature effect analysis of a long-span cable-stayed bridge based on extreme strain estimation
Smart Structures and Systems, An International Journal
2017 .01
-
W-대역 SiGe BiCMOS 믹서 MMIC 설계 및 제작
대한전자공학회 학술대회
2021 .06
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-004-001464356