영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발

황병훈 ,  오세덕

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

세미콘 코리아 2022_자이스, 웨이퍼 3D 대면적 계측 솔루션 개발에 ‘주력’

서재창

전자기술

2022 .03

Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer

So-Young Kwon ,  Young-Hyung Kim ,  Jong-Ik Pa 외 3명

한국정보기술학회논문지

2024 .09

세미콘 코리아 2024_세미콘 코리아 2024, 상승하는 반도체 시장 그대로 대변했다

서재창

전자기술

2024 .03

세미콘 코리아 2022_3년 만에 대면한 세미콘 코리아, 확장된 반도체 시장 증명하다

서재창

전자기술

2022 .03

비전 얼라이먼트 유닛의 다중 웨이퍼 위치 조정을 위한 비전 알고리즘에 관한 연구

이창용 ,  지연정 ,  박종익 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .06

[Special Report] ‘반도체 장비 기업 한 자리에’ 성황리에 열린 세미콘 코리아 2023 외

서재창

I-CONNECTED

2023 .03

박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술

이종항

한국산학기술학회 논문지

2021 .01

웨이퍼 이송시 스크래치 방지를 위한 웨이퍼이송로봇 기울기 보정에 관한 연구

지용경 ,  사이풀 ,  최성순 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

웨이퍼 이송 로봇 고장진단 및 분류에 관한 연구

Islam Md Saiful ,  지용경 ,  심재홍 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발

이창용 ,  박송희 ,  박종익 외 2명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .11

Sensor Calibration Algorithm for Precise Wafer Center Alignment of Semiconductor Coater/Developer Equipment Transfer Robots

H. Kim ,  S. J. Lee

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

진공 챔버에서 사용되는 이송 로봇의 웨이퍼 슬립 보상을 위한 웨이퍼 슬립 측정 방법

정명진

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2023 .06

세미콘 코리아 2022_서플러스글로벌, 경험과 노하우로 중고 반도체 장비 시장 선도

서재창

전자기술

2022 .03

티앤이코리아

김경수

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2021 .12

Optimal Selection of n-Type Wafer Resistivity and Lifetime for Industrial High-Efficiency Silicon Solar Cells

Cheolwook Kwon ,  Soohyun Bae ,  Sanghee Lee 외 8명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

진공 이송 로봇에서 발생하는 웨이퍼 슬립 측정 및 보정에 대한 연구

정명진

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .07

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06