폴리머 기판 위 ZrO 박막의 EDUV 광 어닐링 시 크랙 생성 조건

신재학; 이호림; 진신양; 이동진

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저자정보: 신재학 (건국대학교) 이호림 (건국대학교) 진신양 (건국대학교) 이동진 (건국대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2023년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2023.11

수록면: 302 - 302 (1page)

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