A Study on Low-temperature and Rapid Photonic Annealing Process of Metal Oxide Based TFT on Polymer Substrate Using EDUV and IPL Irradiation

J. H. Shin; S. L. Ko

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: J. H. Shin (건국대학교) S. L. Ko (건국대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2022년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2022.5

수록면: 34 - 34 (1page)

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2023

Research on Low-temperature EDUV Annealing Process Conditions for Metal-oxide-based Transistor Production by Roll-to-roll Gravure Printing

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2022

A Study on Low-temperature and Rapid Photonic Annealing Process of Metal Oxide Based TFT on Polymer Substrate Using EDUV and IPL Irradiation

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#Photonic annealing #Low temperature #Metal oxide #Thin film transistor

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