Experimental Analysis of Cracks Occurring during Low-temperature Annealing of ZrO Metal Oxide through EDUV Treatment on Polymer Substrates

S. M. Park; S. L. Ko

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: S. M. Park (건국대학교) S. L. Ko (건국대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2022년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2022.5

수록면: 182 - 182 (1page)

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#Low temperature annealing #ZrO #Capacitor #EDUV #Polymer substrate

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