EUV 마스크 검사 장비의 회전 오정렬 보상을 위한 θz 스테이지 설계

문제욱 ,  이학준

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

최소 비트 오류 확률 관점에서 stepped θ-QAM 최적 θ 분석

안성진 ,  윤동원

대한전자공학회 학술대회

2019 .06

역률각 θ항이 없는 수정된 등가저항법 공식을 이용한 배전선로의 전압계산

김주철 ,  이상중

조명·전기설비학회논문지

2023 .10

Synthesis and Lithography of Perfluoro-molecular Resists with High T_g under EUV Radiation

우지훈 ,  이진균

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2021 .04

진공용 3 축 x-y-Θ Stage 등가 강성 스프링 모델링 및 열분포 형체 연구

홍서준

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

Wafer Hybrid Bonding 정밀 정렬을 위한 θz Stage 제어

문제욱 ,  김태호 ,  정용진 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .07

다중 입출력 시스템에서 Stepped θ -QAM 성능 분석

안성진 ,  장민규 ,  현광민 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

2020 .08

EUV 펠리클 투과도에 따른 이미지 전사 특성 분석

우동곤 ,  김정환 ,  김정식 외 2명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

PAL-EUV 가속기 터널 공조 환경 정밀제어

이동영 ,  최영호 ,  목익수 외 3명

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2023 .12

EUV pellicle의 standoff 거리에 따른 이미지 전사 특성 평가

우동곤 ,  홍성철 ,  김정식 외 2명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

물중탕을 이용한 대면적 SiNx EUV 펠리클 제작

김정환 ,  홍성철 ,  조한구 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

θ-Projection Model을 통한 석유화학플랜트 개질로ㆍ가열로 튜브의 수명평가 관리 절차 연구

김주용 ,  최진호 ,  다우반흥 외 2명

한국에너지학회 학술발표회

2015 .04

Soft θ_ω-Open Sets and Soft θ_ω -Continuity

Same ,  Al Ghou

INTERNATIONAL JOURNAL of FUZZY LOGIC and INTELLIGENT SYSTEMS

2022 .03

Mask Materials and Designs for Extreme Ultra Violet Lithography

김정식 ,  안진호

Electronic Materials Letters

2018 .01

Conjugate Heat Transfer Analysis of a Gas Turbine Blade with Full-Cooling Structure under Rotational Effect

Duy-Tan Vo ,  Uideok Lee ,  Yoonhyeong Jeong 외 2명

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2024 .12

산의 분포 및 농도가 EUV 리소그래피 공정의 패턴에 미치는 영향: 멀티스케일 전산 모사 연구

박호현 ,  김태겸 ,  이형우 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2021 .08

EUV 리소그래피의 감광제 패터닝 공정에 대한 전산모사

김무영 ,  문정환 ,  최준명 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .04

3 자유도 정렬 스테이지의 자가교정과 보정

김재완 ,  김종안 ,  장영석 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

흡연 기능성 게임에서 심리생리학적 경험과 흡연의 부정적 태도와의 관계에 대한 연구

장한진 ,  노기영

한국게임학회 논문지

2017 .12

High-Resolution VIA Pattern using Combination of DSA and EUV Lithography

윤세현 ,  안지훈 ,  이창현 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2023 .10